技术解密：宝瀛气体芜湖基地氦气回收循环系统
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2025
1.19
宝瀛气体芜湖基地
氦气回收循环系统
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Helium
氦气作为半导体、科研及医疗领域的战略性资源，其供应稳定性与成本控制备受关注。宝瀛气体芜湖电子特气基地自主研发的氦气回收循环系统，通过构建智能化闭环，实现了运营过程中氦气损耗的高效回收与循环利用。
NO.1
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系统架构与流程
l 深度循环利用的氦气系统
宝瀛气体芜湖电子特气基地自主研发的氦气回收循环系统，针对氦气资源依赖进口、成本高昂的挑战，构建了智能高效的闭环解决方案。该系统回收运营过程中产生的氦气损耗（闪蒸气、吹扫气、置换气及储罐蒸发气），通过深度纯化实现循环利用。
l 系统核心价值：
o成本优化：降低进口氦气采购成本
o效率提升：提高气体资产周转率
o供应保障：增强供应链韧性
l 完整闭环的技术流程链路：
系统构建了完整的氦气回收→提纯→再利用闭环：
·宝瀛芜湖基地·
l 关键技术亮点：
智能回收系统
o源流：充装与周转过程中的氦气损耗
o设备：双层橡胶智能回收气囊（微正压设计）
o监控：压力与容积实时监控，确保稳定储存
深度提纯系统
o设备：25Nm³/h氖氦精制装置（南京鹏力）
o性能：纯度≥99.9995%
o认证：经SIMT检测，总杂质<2.1×10⁻⁶
闭环循环系统
o增压：氦气专用隔膜压缩机（≥21.5MPa）
o输出：高压气瓶/管束式集装箱双模式充装
NO.2
核心应用场景
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再生氦气品质达半导体级标准，适用于：
o半导体制造：先进制程的载气、冷却气、等离子刻蚀保护气
o科研装置：核磁共振、粒子加速器、量子计算设备的超导磁体冷却
o医疗设备：MRI设备维护
o分析仪器：气相色谱仪载气
NO.3
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芜湖基地能力演进：
从生产到循环的战略布局
维度 | 氖氦精制生产线 | 氦气回收循环系统 |
模式 | 资源加工（对外采购原料） | 资源再生（内部回收利用） |
产物 | 高纯氖气与氦气 | 高纯氦气 |
处理量 | 20-25 Nm³/h原料气 | 25 Nm³/h回收气 |
提取率 | ≥92% | 专注纯度控制（>99.999%） |
技术重点 | 原料检测、深度除杂、低温精馏分离 | 废气收集、稳定储存、ppb级杂质控制 |
战略定位 | 建立自主生产能力（解决“有无”问题） | 构建成本与供应韧性（解决“效益与稳定”问题） |
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氖氦精制生产线解决了氦气 “有没有” 的国产化问题；而氦气回收循环系统则在此基础上，进一步解决了 “贵不贵”、“稳不稳”的成本与供应链韧性难题。两者共同构成了芜湖基地在氦气这一战略资源上 “自主生产 + 高效循环” 的双重保障体系，提升资源利用效率与供应链韧性。
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宝瀛气体，以气载道，重塑工业未来。
